泰勒霍普森輪廓儀代理

CCI HD 非接觸式光學(xué)3D輪廓儀簡介

CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀，具有測量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有新型關(guān)聯(lián)算法，來查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界專業(yè)的非接觸式尺寸測量功能和專業(yè)的厚薄膜測量技術(shù)。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測量功能，還可以提供兩種類型的膜厚測量。 近年來厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料；測量的厚度限制取決于材料的折射率和標的物的 NA。 測量較薄的涂層被證實為難度更高。現(xiàn)在通過干涉測量法可以研究厚度至 50 納米（同樣取決于折射率）的薄膜涂層。 采用這種新型方法，可以在單次測量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。

CCI HD 非接觸式光學(xué)3D輪廓儀優(yōu)勢

2048 x 2048像素陣列，視場廣，高分辨率

全量程0.1埃的分辨率

適用于0.3% - 100%的表面反射率

RMS 重復(fù)精度<0.2埃，階躍高度重復(fù)精度<0.1%

多語言版本的64位控制和分析軟件