菲希爾鍍層測厚儀XDL230

菲希爾鍍層測厚儀XDL230

菲希爾鍍層測厚儀對于FISCHERSCOPE X-RAYXUL和XULM系列來說，X射線源和接收器位于測量室的下方，菲希爾鍍層測厚儀這樣可以快速方便地定位樣品。菲希爾鍍層測厚儀除此以外，視頻窗口也可以輔助定位，儀器前方的大控制臺簡化了操作，特別是在日常生產(chǎn)中測量大量部件時特別有用。

菲希爾xdl230盡管結(jié)構(gòu)緊湊，菲希爾xdl230但這些儀器都有大容量的測量室，菲希爾xdl230這樣大的物品也可以測量。殼體的開槽設(shè)計（C型槽）可以測量諸如印刷線路板類大而平整的樣品，即使這些樣品可能無法*放入測量室。

菲希爾測厚儀樣品直接放置在平整的支撐臺上，或者定位精度更高的手動XY工作臺上。XUL和XULM都配備了比例接收器；但是它們配備的X射線管，濾片和準(zhǔn)直器是不同的。菲希爾測厚儀便宜耐用的XUL配備了一個準(zhǔn)直器和一個固定的濾片。內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)X-RAY管產(chǎn)生的基本射線光束較大；菲希爾測厚儀因此最小可用的準(zhǔn)直器為0.3 mm。基于光線的擴散，最小的測量點在0.7 mm – 1mm左右。

菲希爾測厚儀XULM適合測量小的結(jié)構(gòu)。它配備了微聚焦管，測量點最小可達(dá)約100μｍ，同時比例接收器仍然可以保持相對高的計數(shù)率。即使很短的測量時間也可以達(dá)到很好的重復(fù)精度。此外，XULM配備了可自動切換的準(zhǔn)直器和多種濾片可以靈活地為不同的測量應(yīng)用創(chuàng)造最佳的激勵條件。

應(yīng)用實例

菲希爾測厚儀XULM特別適合測量細(xì)小的部件如連接器，觸點或線，也可以測量印刷線路板上的Au，Ni和Cu鍍層厚度。即使80nm的超薄的金鍍層也可以用測量點為?0.25mm的準(zhǔn)直器測量，20秒的重復(fù)精度可達(dá)2.5nm。